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SiC/GaN/第三代半导体离子注入机系列

iKing 200-6/iKing 200-8/iKing 200HT-6/iKing 200HT-8系列
iking 200-6/iking 200-8离子注入机,单价能量200KeV,采用直流静电加速器,水平束流扫描,采用先进的长寿命IHC离子源+蒸发器,P+注入流强可达15mA


iKing 360-6/iKing 360-8/iKing 360HT-6/iKing 360HT-8系列
iking 360-6/liking 360-8离子注入机,单价能量360KeV,采用直流静电加速器,水平束流扫描,采用先进的长寿命IHC离子源+蒸发器,Al+注入流强可达1.5mA

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